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一种表面清洁装置
发布日期：2022/5/25 15:22:35
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[实用新型] 一种表面清洁装置

授权公告号：
CN216574617U
授权公告日：
2022.05.24
申请号：
2021204816372
申请日：
2021.03.06
专利权人：
东莞市峰谷纳米科技有限公司
发明人：
高佳
地址：
523000广东省东莞市大岭山镇对面岭街31号7号楼801室
分类号：
B08B7/00(2006.01)I; 全部
摘要：

本实用新型是一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本实用新型中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后，不会对被清洗产品表面造成残留，设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。

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