通辽科技大市场暨内蒙古东部常设技术市场

设备名称：光刻机 

仪器型号：MA6 

所属单位：西北工业大学-微/纳米系统实验室 

设备原值：200 万元 

制造厂商：德国休斯微技术公司 

生产国别：德国 

当前状态：对外服务 

仪器设备详细指标 

主要技术指标 1)正面对准精度：+/- 0.5μm。2)背面对准精度：+/- 1.0μm。3)光刻线条分辨率:0.7μm (UV400)，0.5μm (UV300) 

功能/应用范围 用于MEMS加工过程中的光刻工艺，主要包括掩膜对准与曝光功能。  

服务领域  农/林/牧/渔  轻工/纺织  石油/石化  食品/烟草  地质/矿产  矿业/冶金  钢铁/有色金属  水文气象  非金属/珠宝  橡胶/塑料(材料)  通信/邮政  机械制造  医疗/卫生  生物/医药  地质勘探  电气工程  仪器/仪表  航空/航天  电子/信息技术  交通/运输(公路/铁路)  环保/水利/气象/天文  其它   

技术特色   

服务情况及收费标准 

对外服务(平均机时/年)   

收费标准（元/样品）   

联系方式 

联系人 马志波  

联系电话 029-88495102-8031  

传真 029-88495102  

电子邮件 zbma@nwpu.edu.cn